手机版必发88

光栅真空紫外·软x线领域层状复制衍射光栅

HOLOGRAPHIC LAMINAR GRATINGS FOR VACUUM ULTRAVIOLET REGION

图25 层状衍射光栅AFM 图片
刻线数: 1200条/mm
刻线深度: 15nm

88必发手机版登录采用离子刻蚀技术及全息曝光的工艺方法,加工出可适用于真空紫外及软x线领域使用的层状式衍射光栅。
此款光栅刻线的截面形状如上图所示,是矩形形状,是在合成石英的基底上直接刻线加工而成,特别适合斜入射
光源的要求。

概念图

图24 矩形衍射光栅刻线断面形状的概念图

检测例